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无氧真空烤箱，真空无氧烘箱

工业烤箱，无尘烤箱，无氧化烤箱，真空烤箱，HMDS烤箱定制

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无氧真空烤箱，真空无氧烘箱用途

无氧真空烘箱用于键合前键合材料的真空固化、ITO膜退火，BCB胶、PI胶固化等工艺。广泛应用于半导体、电子产品、医疗卫生等行业，适用于工厂、高等院校、科研等场所。

无氧真空烤箱，真空无氧烘箱技术参数

1、设备名称：
名称	无氧真空烘箱
2、设备型号：
型号	JS-GYZF000
3、设备主要技术参数：
3.1 工作室尺寸	450×450×450（mm）可自定
3.2 材质	内箱采用SUS304不锈钢，外箱采用冷轧板静电喷塑
3.3 温度范围	RT+10-200/300/450℃
3.4 温度分辨率	0.1℃
3.5 温度波动度	≤±1℃
3.6 温度调节	0.1
3.7 升温速率	≤3℃/min
3.8 降温速率	自然降温或自定义
3.9 真空度	≤1torr
3.10 电源及总功率	AC220/380V±10% / 50HZ
3.11 温度控制仪表	LED数字显式/可编程触摸屏仪表，可校准温度，PID自整定等功能
3.12搁板层数	不锈钢托盘2层，配有限位装置
3.13真空泵	干泵或油泵
3.14 腔门密封圈	采用耐高温硅橡胶密封圈，密封圈采用一体成型无缝加工
3.15 状态指示灯	配有三色指示灯及蜂鸣器来提示机台运行状态
3.16 氧含量	≤20/100/200ppm
3.17 洁净度	Class100级/Class1000级

上海隽思仪器http://www.junsicn.com专为半导体生产烘烤制程设备定做服务，无氧烤箱，无尘烤箱，无尘无氧烤箱，真空无氧固化烤箱，PI烤箱，洁净烘箱，氮气烤箱，隧道烘炉，HMDS真空烤箱等。

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