洁净烤箱，无尘洁净烤箱，可程式洁净烤箱

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洁净烤箱，无尘洁净烤箱，可程式洁净烤箱用途:
          百级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤、IC封装；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

洁净烤箱，无尘洁净烤箱，可程式洁净烤箱特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采用垂直送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；
4.强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到zui佳温度控制精度。

5.烘箱可配SECS / GEM接口，如后期需要增加SECS / GEM协议，无需更改设备，可直接接入。SECS / GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。在自动化工厂中，接口可以启动和停止设备处理，收集测量数据，更改变量并为产品选择配方。 SECS（SEMI设备通信标准）/ GEM（通用设备模型）标准以确定的方式完成所有这些工作。

洁净烤箱，无尘洁净烤箱，可程式洁净烤箱技术参数：
无尘等级：Class 100;     

温度范围：RT+10～200/300/400℃；
温度均匀度：±1.5%℃;    

温度波动度：±0.5℃（空载）；        
温控精度：±0.1℃;

进风口：N2、流量计控制;  

排风口： 自动排风;

工作室尺寸：自定（mm）；    
电源：380v , 50Hz；  

网板：2层
洁净度：100级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层对流循环方式实

现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。