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洁净烘箱,百级洁净烘箱用途:
洁净烘箱,百级洁净烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
洁净烘箱,百级洁净烘箱特点:
1.能够确保烘箱内部等级达到Class 100;
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;
4.强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到高精度温度控制;
5.设备采用双腔体单独控制的方式,提高生产效率、有效节约空间、造型美观大方。
6.设备具有程序运行功能,可实现一键完成所需烘烤工艺;操作人员放入产品后,点击开始按钮执行工艺菜单,工艺完成后具有声光提示。
洁净烘箱,百级洁净烘箱技术参数
无尘等级:Class 100、Class 1000;
温度使用范围:RT+50~450℃
升温速率:选配
降温速率:选配
温控器:可程式/定值式
内胆材料:采用 SUS304、SUS316不锈钢制作;
外壳材料:采用冷轧钢板(可选SUS304)喷塑;
风轮:多翼式不锈钢风轮;
加热管:采用不锈钢 U 型发热管,带散热片,可使发热管温度均匀散发;
进气口:可调式流量计控制;
排风口: 自动风门;
工作室尺寸:自定义(mm);