法国STIL高速度色散共焦测量技术频率可达10K

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色散共焦测量技术的应用案例
1.屏幕厚度，玻璃基底上的凹坑测量
智能手机或平板电脑上那层镀过膜的、超高硬度的屏幕玻璃是通过非常精密的工艺生产出。其切割边缘需要被完全检验来判断玻璃是否能进入到下面的拼装工序中。ERT的光学传感器能够使用不同的测头在线测量屏幕玻璃的尺寸和厚度。光学传感器通过一次扫描能同时测量玻璃的翘曲度和厚度。传感器也能测量玻璃表面那些由打磨或激光消融产生的凹坑或缺口的深度。这些凹坑会导致玻璃在往后的使用中由于受力开裂。
2.智能手机和平板电脑
现在的智能手机、平板电脑和其他一些电子产品都有着非常高精度的表面，它们的外表一般都是由非常精细的金属和玻璃合成。这些由塑料、金属和玻璃制成的材料必须很紧密无缝地结合在一起。光学传感器能够确保在组装时所有部分都能很平整地排列在一起。在测量时，这些部件是不能被触碰的。
晶片的在线质量检查
3.半导体工业中的应用需要微米范围内的横向分辨率和亚微米范围内的纵向分辨率。 在进行在线质量检查时，传感器测量晶片的厚度，在蔽光框生产中确定半导体结构，检查焊接。 此外，传感器测量透明涂层，确定喷漆厚度以及实时监控机械和化学蚀刻过程。ERT传感器可以在酸液中以及在超真空环境内进行可靠测量
4.在硅片生产过程中的质量控制 许多生产工艺中都会用到层厚减薄。比如:在湿法蚀刻过程中，固体的材料通过化学溶液被转化成液体化合物。在检测这些工艺过程中就会用到光学传感器。传感器也能检查洗涤过程判断异物是否已经从晶圆上移除。
5.微透镜阵列
光谱共焦传感器能够测量微透镜的形貌从而检测出表面的缺陷。表面形貌处理对于透镜非常重要，因为它能防止透镜生成扭曲的图像以及优化透光效果。那些圆柱形、非球面形或球面形透镜阵列通常都是由折射率和透明度很高的玻璃构成。采用光谱共焦技术的非接触式测量系统在测量中不会碰到样品，能够防止触碰式测量中探针对透镜的刮伤，同时又能很方便地勾画出透镜的表面三维图像。透镜的曲率半径能够很容易地获得。传感器能生成很清晰明显的3D数据。
6.测量胶水小球
在点胶工艺中生成的胶水小球目前只能通过视觉系统检验。在生产中必须保证点胶路线是连贯和稳定的，而通过光学传感器系统就能够控制许多质检标准中的很多参数。胶水小球相对于其他结构必须安置在正中间。在点胶起始和结束的异常的材料积聚能被检测出来。就连缺口也能被检测到。