法国STIL光谱共焦传感器
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光谱共焦传感器
光谱共焦技术测量原理
利用波长信息测量距离 由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。
部分产品系列型号参数参考
产品系列1 安装距离:12mm 量程:±200 线性度:±0.025%F.S. 分辨率:10nm 光斑:10um
产品系列2 安装距离:16mm 量程:±650 线性度:±0.025%F.S. 分辨率:20nm 光斑:12um
产品系列3 安装距离:19mm 量程:±2000 线性度:±0.025%F.S. 分辨率:40nm 光斑:20um
产品系列4 安装距离:24mm 量程:±5000 线性度:±0.025%F.S. 分辨率:300nm 光斑:25um
光谱共焦原理的优点:
全息性:理论上每一束返回光谱分析仪的光线都用它的波长携带了距离信息,部分光被遮挡影响小。
无阴影效应:光从四面八方照射到样品,激光原理一个方向被遮挡无法测量的区域,共焦更容易解决。 可以测量各种表面:镜面、弯曲或倾斜的镜面、粗糙面、透明、液滴表面等的测量都变得容易。 高分辨率:理论上波长可以无限细分,理想镜头具有无限分辨率。 温度稳定性好:镜头本身不发热,温度漂移小。对于微米以及亚微米级的测量,温度稳定是很关键的。 自动聚焦:在量程范围内,被测物的位置上下变动时都有相应的波长的光聚焦到物体表面。 横向分辨率高:测量光斑小,而且总是在焦点上,能分辨被测物上的微小轮廓变化。 模块化小型化:镜头和解码部分可以通过光纤连接,传输距离远,镜头可以做得很小。 调频抗干扰:波长是调频信号,对光强变化等调幅干扰不敏感。光纤对电磁干扰、雷电浪涌不敏感。 透明材料厚度测量:当被测物透明且有两个表面,就会有两个波长的光返回得到厚度值。 安全性高:长寿命的LED光源,微小功率的白光,比激光对人眼更安全,不受限于激光危害等级。 高防护:控制器高防护等级,光纤可提供不锈钢外套版本,防虫害鼠咬。 维护和服务:模块化光源,一分钟快速更换。国内技术和配套支持,保修、维护、校准方便。