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二、仪器结构
设备分为三部分:测控主机、人机界面控制箱、电脑实时监控软件(选配)。
a) 测控主机主要包含光源探头、接收探头、控制器、铝型材机架。
b) 人机界面控制箱主要包含人机界面、电源、不锈钢箱体。
c) 电脑实时监控软件,所有测试点数据的实时监控,包含实时显示、柱状图、上下阈值设定、实时曲线,越限报警等。透过率与光密度的显示可自由切换。
那在真空环境下长时间使用,仪器的稳定性会怎么样呢?下面就是客户用LS152做的测试实验: 从测试结果可以看出:
一、在真空环境下经过8个小时的测试,温度从31.7℃到33.3℃,虽然温度在一直升高中,但是升幅不大,只升高了1.6℃。对于测试没有任何影响;
二、从OD值的变化来看,数值漂移变化非常小,完全可以忽略不计。
所以LS152真空镀膜在线测厚仪在真空环境下的监测是非常稳定的。
PROSOFT RLXIB-IHN-X
PROSOFT RLXIB-IHW-66C-X
PROSOFT RLXIB-IHW-66D-X
PROSOFT RLXIB-IHW-66-X
PROSOFT RLXIB-IHW-A
PROSOFT RLXIB-IHW-X
PROSOFT RLXIC-EH-A
PROSOFT RLXIC-EH-A-RO
PROSOFT RLXIC-EH-I
PROSOFT RLXIC-EH-I-RO
PROSOFT RLXIC-EV
PROSOFT RLXIC-EV-RO
PROSOFT RLXIC-SG
PROSOFT RLXIC-SG-RO
PROSOFT RLXIC-SV
PROSOFT RLXIC-SV-RO
PROSOFT RLXIFH24EA
PROSOFT RLX-IFH24E-A-RO
PROSOFT RLXIFH24EE
PROSOFT RLX-IFH24E-X
PROSOFT RLX-IFH24S
PROSOFT RLX-IFH24S-A
PROSOFT RLX-IFH24SE
PROSOFT RLX-IFH24S-X
PROSOFT RLX-IFH24S-X-RO
PROSOFT RLXIFH9EA
PROSOFT RLX-IFH9E-X
PROSOFT RLX-IFH9E-X-RO
PROSOFT RLX-IFH9S-A
PROSOFT RLX-IFH9S-E
PROSOFT RLX-IFH9S-X
PROSOFT RLX-IFH9S-X-RO
PROSOFT RLX-IHBTK
PROSOFT RLXIHGA
PROSOFT RLX-IH-US
PROSOFT RLX-IHW-A
PROSOFT RLX-IHW-X
PROSOFT RLX-MBK2419
PROSOFT RLX-MMK11
PROSOFT RLX-MMK1924
PROSOFT RLX-MMK8
PROSOFT RLX-MMK9
PROSOFT RLX-MYK18
PROSOFT RLX-WMT-66
PROSOFT RLX-WPK001
PROSOFT W5-JDC4
PROSOFT WRC-CANR-DF-DN
PROSOFT WRC-CANR-DF-SM
PROSOFT WRC-CANX-DIN-DN
PROSOFT WRC-CANX-NEM-DN