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教你如何故障维修 有关波谱仪

2019-05-08 浏览量:40

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  在我们工作生活中,随处可见波谱仪,他的使用对于人们也起到了非常重要的作用,但是机器都会有故障,波谱仪也不例外,那我们就本文针对S360型SEM附带的WDX-3PC型WDS其谱图中无任何特征谱峰故障现象进行分析和讨论,并且找出其中故障的原因。

  故障确定以及排除

  对与故障现象可能相关的SEM主机工作系统、SEM与WDS连接线路、WDS信号显示系统、WDS信号处理元件(硬件)和WDS操作与处理软件等仪器系统进行逐一测试,用排除法一一排除,最后将故障目标锁定在WDS探测器上。

  WDS探测器是自动化程度很高的精密机械装置,探头体积比较小,内部细小元件很多,工作时探头还要在罗兰圆轨道上运动。检修时需避免损伤部件或造成仪器变位;还要注意防止各种小螺钉、小零件的脱落,以免造成探头做罗兰圆机械运动时卡机。

  故障成因分析

  从上述FPC工作原理中了解到:计数管窗口既要承受管内气体与探头外部真空环境之间的压力之差,又不能造成入射特征X射线强度的明显吸收衰减。为了不至于把窗口冲破或挤压破,S360型扫描电镜设计和操作要求中,明确规定必须在真空度恰好为1·26×10-2Pa时迅速打开WDS与SEM间的阀口,因为此时窗口内、外的压力基本持平。

  然而,从FPC窗口破损结果的SEM微观形貌观察中可以看到:该窗口不仅有机膜出现破口,而且用来支撑有机膜的金属丝网也发生了扭曲变形,说明当时造成破口的冲击力较大。由于操作人员一直按规定的程序步骤进行仪器操作,因此需要查找人员之外的因素。

  FPC处于工作状态时,其外部为真空环境。FPC窗口一旦发生破裂,其内部流动的气流就会被真空泵(为分子泵)抽走,使得FPC内部几乎无气体存在,即使此时有特征X射线光子的进入,也产生不了“气体放大”效应,收集不到谱峰信号,当然在谱图上也就无任何谱峰了。

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